高真空油拡散ポンプのメリットとデメリット

利点:

高い到達真空度:10-4 ～ 10-7 Pa の低い圧力を達成できるため、ほとんどの高真空用途に適しています。

高い排気速度と大きな容積：排気速度は、同様のサイズの他の多くのポンプよりも大幅に高速であるため、大きなチャンバーに最適です。

シンプルで信頼性の高い構造:ポンプには可動機械部品がないため、摩耗、振動、騒音がなく、長期的な信頼性に貢献します。{0}}

低コストでメンテナンスが簡単:ポンプの初期コストは比較的低く、メンテナンスは最小限で耐用年数が長くなります。

少量の塵や汚染物質に対する耐性:少量の塵や不純物にさらされた場合でも、分子ポンプよりも耐久性が高くなります。

短所:

油汚染のリスク:油蒸気がチャンバー内に逆流して、真空環境やワークピースを汚染する可能性があります。

フォアポンプが必要です:大気圧から直接ポンプを供給することはできず、機械式ポンプまたはルーツポンプの動作に依存します。

起動が遅い-起動と冷却:ポンプは動作温度まで加熱し、停止時に冷却するのに時間がかかります。

大気暴露に敏感:高温でポンプを空気に開放すると、オイルが急速に酸化して劣化し、ポンプの故障につながる可能性があります。

比較的高いエネルギー消費:動作中は継続的な加熱と水冷が必要となり、全体のエネルギー消費量が増加します。